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HP-802自動劃片機

可滿足多種定制加工需求的雙軸自動劃片機

產(chǎn)品分類:

自動劃片機

半導(dǎo)體裝備事業(yè)部

詳情

技術(shù)特點：

● 擅長多片切割，可定制工作臺，最大工件尺寸300mmx300mm；通過復(fù)數(shù)加工選擇界面，可實現(xiàn)對多片的任意片數(shù)加工；
● 可選配 2.4kW 大功率主軸，滿足更高切割品質(zhì)的要求；龍門式結(jié)構(gòu)，剛性高，穩(wěn)定性好；可選 Sub-CT輔助磨刀功能，最大程度保證切割質(zhì)量。

性能指標(biāo)：

主軸	功率	KW	1.8	2.8
	范圍	rpm	6000-60000	3000-30000
X軸	有效行程	mm	300
	速度范圍	mm/s	0.1-600
	分辨率	mm	0.001
Y軸	有效行程	mm	300
	分辨率	mm	0.0001
	步進精度	mm	0.002/5
	全程累積誤差	mm	0.003/300
Z軸	有效行程	mm	22(使用µ58切割刀片時)
	重復(fù)精度	mm	0.001
	支持最大刀具直徑	mm	58	120
Ð軸	最大轉(zhuǎn)角	deg	380°±5°
	重復(fù)精度	arc-sec	1″
顯微鏡	鏡頭倍數(shù)	-	15x(可選)
	光源配置	-	環(huán)光•直光
工件	圓形工件尺寸	mm	µ300
	方形工件尺寸	mm	300x300（無 Sub-CT) 285x285 ( Sub-CT)
其它	Sub-CT輔助磨刀板功能	-	選配
	外形尺寸WxD×H	mm	1085×1040×1805
	設(shè)備重量	kg	1200